Product Details
Manufacturer:
YAMATO
Model:
PR510
Warranty:
Origin:
-
Technical Specifications
- Hệ thống: Chế độ DP, kiểu Barrel
- Đầu ra tần số cao: Max. 500W
- Tần số dao động: 13.56MHz
- Phương pháp điều chỉnh: tự động
- Buồng phản ứng: Làm bằng thạch anh, ø215×305mm
- Hệ thống khí phản ứng: Hệ thống đôi (O2/CF4)
- Hệ thống điều khiển:Bảng điều khiển cảm ứng tự động
- Chất liệu đường ống: SUS, Teflon
- Đầu vào khí: 1/4 "swagelok
- Đầu vào máy bơm chân không: NW25
- Kích thước bên ngoài: W520×D630×H760mm
- Nguồn điện: AC220V~AC415V ba pha với máy hạ áp
- Khung cho wafers (2, 3, 4, 5 inches)
- Khung góc đa năng
- Aluminum etching tunnel (tối đa φ180)
- Bơm chân không (250L/phút trở lên)
Package Includes
Import Information
HS Code:
Estimated Import Tax:
0,00
Customs Description
Tủ phản ứng Plasma kiểu Barrel Yamato PR510 (215012, 500W)