Tủ phản ứng Plasma kiểu Barrel Yamato PR500 (215007, 500W)

Technical Specifications

• Hệ thống: Chế độ DP,  kiểu Barrel
• Đầu ra tần số cao: Max. 500W
• Tần số dao động: 13.56MHz
• Phương pháp điều chỉnh: tự động
• Buồng phản ứng: Làm bằng thạch anh, ø215×305mm
• Hệ thống khí phản ứng: Hệ thống đôi (O2/CF4)
• Hệ thống điều khiển: thủ công
• Chất liệu đường ống: SUS, Teflon
• Đầu vào khí: 1/4 "swagelok
• Đầu vào máy bơm chân không: NW25
• Kích thước bên ngoài: W438×D520×H760mm
• Nguồn điện: AC115V/AC220V Một pha với máy hạ áp
• Khung cho wafers (2, 3, 4, 5 inches)
• Khung góc đa năng
• Aluminum etching tunnel (tối đa φ180)
• Bơm chân không (250L/phút trở lên)

Package Includes